Aukšto lygio metalo silicio metalas 551

Puslaidininkinio prietaiso gamybos metodas, puslaidininkio įtaisas sudaro puslaidininkio korpusas su paviršiumi, paviršius yra greta Silicio regiono ir izoliacinės medžiagos sritis, kiekviena silicio regionas yra su viršutiniu sluoksniu, kurio viršutinis sluoksnis yra viršutinis sluoksnis.Silicio metalas 551, metalas nusėda ant puslaidininkio korpuso paviršiaus, o tada puslaidininkio korpusas kaitinamas iki metalo silicido formavimo temperatūros. Tai, kas nusėda, yra kobaltas ir nikelis, o tada puslaidininkio korpusas kaitinamas iki temperatūros, kur susidaro kobalto ar nikelio silikidas. Siekiant išvengti metalų silicidų augimo kiekvienoje izoliacinės medžiagos srities dalyje, esančioje šalia kiekvienos silicio zonos.

1.Siekiant sumažinti tolesnio proceso sunkumusSilicio metalas 551Marinavimas, silicio metalas buvo išgrynintas remiantis subrendusios kambario temperatūros marinavimo technologija ir nauja šlapio deguonies oksidacijos technologija. Pagrindinė marinavimo funkcija yra pašalinti didžiąją dalį metalinių priemaišų, paveiktų silicio metalo dalelių paviršiuje; Po šlapio deguonies oksidacijos boronas su nedideliu krešėjimo koeficientu (krešėjimo koeficientas silicio ir silicio dioksido sistemose) daleles difuziškai į silicio dioksidą aukštoje temperatūroje, o po to korozija, kad pašalintų oksido sluoksnį ir priemaišas jame. Eksperimentai rodo, kad šis metodas turi akivaizdų gryninimo poveikį boro priemaišoms, o boro priemaišų kiekis yra net 4 × 10-6.

Populiarus Žymos: Aukšto lygio metalo silicio metalas 551, Kinijos aukšto lygio metalo silicio metalo 551 gamintojai, tiekėjai, gamykla