Aukšto lygio metalo silicio metalas 553

Savarankiškai suderinti metodą gaminti Silicio metalas 553 iS buvo naudojama suformuoti vartų struktūrą ir šaltinio/kanalizacijos sritį ant substrato iš eilės. Po to jonų implantacijos žingsnis atliekamas į implantų metalo jonus ant vartų struktūros paviršiaus ir šaltinio/kanalizacijos srities paviršiaus. Tada atliekami du terminio apdorojimo procesai, siekiant silikuoti metalų jonus ir silicį ant vartų struktūros paviršiaus ir šaltinio/kanalizacijos srities paviršiaus ir sudaro labai laidų metalo silicido sluoksnį ant vartų struktūros paviršiaus ir Šaltinio/kanalizacijos srities paviršius. Tarp jų metalo jonai gali būti kobaltas, titanas, nikelis, platina ar paladis.

1.Borono pašalinimo būdasSilicio metalas 553Perkelkite „Ladle“. Tai apima: pirma, sumažėjęs skystas silicio metalas panardintoje krosnyje perkeliama į perkėlimo lūšną; Tada įkaitintos sumaišytos dujos išpūstos į skystą silicio metalą iš perkėlimo į apačią, o sumaišytos dujos sudaro iš didelio dailiojo deguonies, vandens garų, argono; Atlikus visišką reakciją ir pašalinus priemaišą, skystas silicio metalas teka iš perkėlimo į apačią ir yra liejamas, kad gautų didelio grynumo silicio metalą. Šis išradimas išpūtė didelio grynumo deguonies, vandens garų ir argono sumaišytas dujas iš perkėlimo į silicio metalo apačioje išlydytoje būsenoje, iš anksto pašildant aukštos grynumo deguonies aukštoje temperatūroje, ir boro ir fosforo pašalinimo poveikis boro ir fosforo pašalinimui. Priemaišos yra akivaizdžios, o kita priemaišų dalis yra oksiduojama, kad būtų sukurta lengvai žaidžiama medžiaga, kurią turi nunešti dujos arba plūduriuoti ant skysčio paviršiaus. Silicio metalas, kad silicio metalo priemaišos būtų žymiai sumažintos. Palyginti su kitais „Boron“ pašalinimo metodais, ši technologija turi akivaizdžių ekonominių pranašumų, kurie gali žymiai sumažinti energijos suvartojimą, sutrumpinti priemaišų pašalinimo procesą ir suvokti, kad pramoninė pigių ir didelio grynumo silicio metalo gamyba.

Populiarus Žymos: Aukšto lygio metalo silicio metalas 553, Kinijos aukšto lygio metalo silicio metalo 553 gamintojai, tiekėjai, gamykla