Produktų aprašymas
Nuotolinėmis sąlygomis silicio milteliai gali būti visiškai nitrizuojami SHS procese, kad būtų galima generuotiSilicio nitridas, O produktas turi didelį azoto kiekį ir mažai deguonies, tačiau tai yra fazė. Silicio dūmų shs reakcijoje reikia pridėti tinkamą Si _3 n _4 sėklos kiekį; Silicio SHS degimo bangos sklidimo greitis padidėja didėjant azoto slėgiui ir sumažėjus reagentų užpildymo tankiui, tačiau jis nepriklauso nuo reaganto sudėties ir mėginio skersmens. Degimo bangos temperatūra padidėjo padidėjus azoto slėgiui ir padidėjus mėginio skersmeniui, kuris nepriklausė nuo reagentų sudėties ir užpildymo tankio.
Produktų parametrai
| Pažymys | N | Si | Ca min | O min | Al Min | C | Fe min |
| Si3n 485-99 | 32-39 | 55-60 | 0.25 | 1.5 | 0.25 | 0.3 | 0.25 |
Produktų bendradarbiavimo paveikslėlis
1.Silicio nitridasFilmai buvo paruošti naudojant plazmos cheminio garų nusėdimo (PECVD) technologiją skirtingomis nusėdimo sąlygomis (substrato temperatūros diapazonas yra 20 ~ 180 laipsnių ir 10 ~ 30W RF galia) ir buvo ištirtas nusėdimo sąlygų poveikis silicio nitridų nitridų plėvelių savybėms ir vandeniui atsparioms savybėms. Eksperimentiniai rezultatai rodo, kad padidėjus substrato temperatūrai, silicio nitrido plėvelių tankis, lūžio rodiklis ir Si/N santykis atitinkamai padidėja, o nusėdimo greitis ir H kiekis atitinkamai mažėja. Padidėjus RF galiai, silicio nitrido plėvelių nusėdimo greitis, tankis, lūžio rodiklis ir Si/N santykis atitinkamai padidėja, o H kiekis atitinkamai mažėja. Vandens garų prasiskverbimo eksperimentas rodo, kad net jei substrato temperatūra yra sumažinta iki 50 laipsnių, nusodinta silicio nitrido plėvelė vis tiek pasižymi gerais vandeniui atspariu našumu. Eksperimentiniai rezultatai rodo, kad žemos temperatūros silicio nitridų plėvelės gali būti veiksmingai pritaikytos organinių šviesos skleidžiančių prietaisų (OLED) pakavimui.
Populiarus Žymos: Aukšto lygio medžiagų silicio nitrido, Kinijos aukšto lygio medžiagų silicio nitridų gamintojai, tiekėjai, gamykla