Produktų aprašymas
Silicio nitridasPlonos plėvelės turi tankią struktūrą, didelį stiprumą ir gerą atsparumą dilimui, ir gali būti naudojamos kaip struktūriniai komponentai MEMS įrenginiuose. Jauno modulis ir silicio nitrido plėvelių kietumas buvo tiriami PECVD metodu, o nusėdimo temperatūros ir reakcijos dujų srauto santykio poveikis jauno moduliui ir plėvelių kietumas buvo išanalizuotas. Silicio nitridų plėvelė buvo naudojama kaip pakabos pluoštas RF MEMS jungikliams gaminti.
Produktų parametrai
| Pažymys | N | Si | Ca min | O min | C min | Al Min | Fe min |
| Si3n 485-99 | 32-39 | 55-60 | 0.25 | 1.5 | 0.3 | 0.25 | 0.25 |
Produktų bendradarbiavimo paveikslėlis
1.Silicio nitridasKeramika yra aukštos temperatūros ir didelio stiprumo struktūrinė keramika, turinti plačią vystymosi perspektyvą. Jis pasižymi dideliu našumu (tokiu kaip didelis stiprumas, geras šiluminio smūgio stabilumas, didelis nuovargio kietumas, didelis lenkimo stiprumas kambario temperatūroje, atsparumas dilimui, atsparumas oksidacijai, atsparumas korozijai ir kt.) Ir buvo plačiai naudojamas visose gyvenimo srityse. Silicio nitrido paruošimo būdai daugiausia apima reakcijos sukepinimo (RS), karšto slėgio sukepinimo (HPS), atmosferos slėgio sukepinimo (PLS) ir pneumatinio slėgio sukepinimo (GPS). Šiuo metu pagrindinė problema yra ta, kad silicio nitrido keramikos produktai yra mažai kietumo ir didelės išlaidos. Ateityje būtina pagerinti frezavimo, formavimo ir sukepinimo procesus bei silicio nitrido ir silicio karbido jungimą, kad būtų sukurta geresnė silicio nitrido keramika.
Populiarus Žymos: Aukšto lygio metalo silicio nitrido, Kinijos aukšto lygio metalo silicio nitridų gamintojai, tiekėjai, gamykla